气瓶柜Gas Cabinet
◆ 相关功能：
1、双瓶自动切换，对工艺设备连续不间断的供气；
2、配备金属外壳、抽风、侦测sensor等，保证设备运行的完全；
对工艺设备的安全考虑
对操作人员的安全考虑
对环境的安全考虑
对工艺设备的安全考虑
3、压力调节，将工艺气体压力从钢瓶压力减压至工艺所需要的压力，稳定压力、稳定流量；
4、气体净化置换（高纯氮气吹扫+抽真空）。
◆ 输送介质：
SiH4、PH3、B2H6、H2、HBr、Cl2等易燃/易爆/有毒/腐蚀性气体介质。
◆ 配置描述：
烟雾sensor、高温sensor、火焰侦测器、加热系统、双级调压、EFS等。
