BSGS（Bulk Specialty Gas System）

◆ 大流量输送系统；
◆ 常用在SiH4、NH3、N2O等用量较大的工况；
◆ 配置：
地磅秤
加热系统
Heating Block…


高品质测试指标：
保压测试：压降<=1%@24h
氦检测试，漏率<=1.0x10-9mbar.L/s
颗粒测试<=1.0pcs@0.1um,scf
水份增量测试<=1ppb
氧份增量测试<=1ppb

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