产品介绍
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特气产品气瓶柜Gas Cabinet◆ 相关功能： 1、双瓶自动切换，对工艺设备连续不间断的供气； 2、配备金属外壳、抽风、侦测sensor等，保证···查看更多 + -
特气产品BSGS（Bulk Specialty Gas System）◆ 大流量输送系统； ◆ 常用在SiH4、NH3、N2O等用量较大的工况； ◆ 配置： 地磅秤 加热系统 Heating Bloc···查看更多 + -
特气产品气瓶架Gas Rack◆ 相关功能： 1、双瓶自动切换，连续不间断的供气； 2、压力调节，将气体压力从钢瓶压力减压至工艺所需要的···查看更多 + -
特气产品阀门箱Valve Manifold Box◆ 相关功能：分流。◆ 输送介质： SiH4、PH3、NH3、HBr、Cl2、 N2、O2、Ar等各理化特性的介质均适用。◆ 配···查看更多 + -
特气产品非标产品TMA◆ 相关功能：1、配备金属外壳、抽风、灭火器、侦测sensor、安全阀等，保证设备运行的完全； 对工艺设备的安···查看更多 +
