阀门箱Valve Manifold Box
◆ 相关功能：分流。
◆ 输送介质： SiH4、PH3、NH3、HBr、Cl2、 N2、O2、Ar等各理化特性的介质均适用。
◆ 配置描述：控制方式分全手动、半自动按钮或半自动触摸屏式；
◆ 按分流数量常规为3 路、4 路、5 路、6 路等。大流量气体VMB： 全封闭阀门箱，可靠的安全管理
◆手动式VMB： 出厂成品支架，更标准的设备部署。
◆半自动VMB： 各项压力管理，远程自动切断。
◆全自动VMB： 全自动吹扫，送气，切换。丰富的安全连锁，远程切断。
◆ VMB的自动控制模块： 小型可靠的西门子控制器。所有电控原件布置在设备下部，方便维护。
◆小巧的VMP： 紧凑的布置，整齐的盘面设计，方便的操作和观察。
