产品介绍
电子工厂的参杂、外延、离子注入、刻蚀等生产工艺中使用的具有自燃性、可燃性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体，这些特殊气体需要在满足压力和流量的情况下安全、受控的输送到工艺机台。 常使用以下设备: 1、气瓶柜gas cabinet ...GC 2、气瓶架gasrack ....GR 3、阀门箱valve manifold box ....VMB 4、阀门盘valve manifold panel ....VMP 5、气体侦测系统gas detector system ....GDS 应用于半导体、太阳能、液晶面板、光伏、光纤等领域。 |
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特气产品阀门盘Valve Manifold Panel◆ 相关功能：分流。◆ 输送介质：N2、O2、Ar等惰性气体。◆ 配置描述：按分流数量常规为3 路、4 路、5 路、···查看更多 + -
特气产品气瓶柜Gas Cabinet◆ 相关功能： 1、双瓶自动切换，对工艺设备连续不间断的供气； 2、配备金属外壳、抽风、侦测sensor等，保证···查看更多 + -
特气产品BSGS（Bulk Specialty Gas System）◆ 大流量输送系统； ◆ 常用在SiH4、NH3、N2O等用量较大的工况； ◆ 配置： 地磅秤 加热系统 Heating Bloc···查看更多 + -
特气产品气瓶架Gas Rack◆ 相关功能： 1、双瓶自动切换，连续不间断的供气； 2、压力调节，将气体压力从钢瓶压力减压至工艺所需要的···查看更多 + -
特气产品阀门箱Valve Manifold Box◆ 相关功能：分流。◆ 输送介质： SiH4、PH3、NH3、HBr、Cl2、 N2、O2、Ar等各理化特性的介质均适用。◆ 配···查看更多 + -
特气产品非标产品TMA◆ 相关功能：1、配备金属外壳、抽风、灭火器、侦测sensor、安全阀等，保证设备运行的完全； 对工艺设备的安···查看更多 +
