上海时宇半导体设备有限公司

设计能力

化学品柜设计化学品系统方案特气柜设计特气系统方案

机台端用点：
· VMB：阀组箱
· VMP：阀组盘
· VS：大宗气体控制面盘

特气供应中继设备：
· VDB：特气分配阀箱
· I/O Box：用点用气信息中继箱

特气本地供应：
· Local GC：本地供气气瓶柜

特气集中供气设备：
· BSGS/GC：（大宗）自动气瓶柜
· GR：惰性气体供应盘（架）
· Pure Panel：吹扫钢瓶面板
· 汇流排：大宗特气工艺自动切换汇流排

特气集中处理/管理设备：
· Forming Mixer：多气体混配
· Scrubber：本地处理特气柜排放的废气
· Purifier：气体集中纯化

A.机台端用点：
VMB：用点阀门箱
VMP：用点面盘
VS：大宗气体用点控制面盘

B.特气供应中继设备：
VDB：特气分配阀箱
I/O Box：用点用气信息中继箱

C.特气本地供应：
Local GC：本地供气气瓶柜
Pump：本地真空泵

D.特气集中供气设备：
BSGS / GC： (大宗）自动气瓶柜，安全气瓶管理
GR：惰性气体供应盘（架）
Pure Panel：吹扫钢瓶面板
汇流排：大宗特气工艺自动切换汇流排

E.特气集中处理/管理设备：
Forming Mixer：多气体混配，按需求供应稀释后的混合气
Scrubber：本地处理特气柜排放的废气
Purifier：气体集中纯化
GMS: 中央侦测用气管理系统

特气控制系统种类:

●半自动GC/GR

●全自动GC/GR

●大宗特气系统(BSGS)

●全自动VMB

●高精度混气系统

●TMA供应系统

●TEOS供应系统

●DEZ供应系统

●TCS/DCS供应系统

●非标定制特气系统

自控系统咨询&设计

◆PLC长期与SIEMENS、AB、GE、OMRON、Mitsubishi以及提起国际知名品牌合作;

◆上位机监控软件: Intouch、 IFIX、 Wincc、 KingSCADA等;

◆触摸屏: Proface、 SIEMENS、 Schneider 、MCGS、 Weinview等;