化学品使用端分配设备：
· PP VMB：自动（手动）酸碱系统阀门分配箱
· SUS VMB：自动（手动）有机溶剂阀门分配箱
· Fitting Box：PVC外套管件盒
有机溶剂供应系统：
· CDM：不锈钢有机溶剂供应设备，（可选）独立的过滤模块
· CCB：卸车阀门控制箱
酸碱化学品集中供液系统：
· CDM：酸碱化学品供应设备，（可选）独立的过滤模块
· CCB：卸车阀门控制箱
· Mixer：高精度化学品调配设备（±0.005%）调配精度
· Slurry Supply：Slurry调配及供应设备
化学品控制系统种类:
●桶单元 ●供应罐单元 ●储存罐单元 ●槽车和CCB单元 ●氮压单元 | ●稀释单元 ●混配单元 ●废液收集单元 ●非标定制单元 |
CMS系统:
●监控设备运行状态，包括: CDM运行情况、设备故障信息、设备报警信息、PT压力显示、历史记录查询等;
●化学品测漏实时显示，当泄漏报警时，报警信息实时显示，显示泄漏具体位置，同时监控画面对应区域有黄色或红色提示，并配备音响报警声音提示;
●报警历史记录查询，历史记录数据筛选功能，至少满足1年以上历史数据存储容量;
●历史曲线查询，查找不同时间段历史曲线走势，方便I程师进行泄漏分析和数据统计，有助于及时查找问题;
●数据报表功能，根据时间和化学品筛选，统计VMB阀门开关时间，开关次数统计。如果安装了流量计，还可以进行流量统计汇总;
●设备异常情况监测，例如:网络通讯故障报警提示，方便及时排除网络故障;
●系统网络架构显示，清晰的显示系统内设备网络通信方式和运行状态;
●操作权限管理，不同登录权限操作授权不同;
●登录密码设置、修改;
●其他客户定制功能。
GMS/GDS系统:
●气体设备运行状态监控，包括:供气情况、设备故障信息、设备报警信息、PT压力显示等;
●全厂特气设备平面流程图显示，清晰显示不同气体设备之间的气体链接和流向;
●特气泄漏侦测，实时监测气体泄漏浓度;
●气体实时浓度本地显示和中控电脑显示;
●气体泄漏浓度超过设定限值时启动声光报警联动，紧急时自动切断气源，并输出信号给设备机台联动控制;
●本地EMO和中控室总的EMO;
●消防、广播系统联动;
●提供干接点信号输出或预留以太网通讯接口;
●历史报警记录查询;
●侦测器本体报警记录查询;
●监控电脑历史记录查询;
●监控电脑历史曲线查询;
●报警等级限值设置;
●登录权限后，可以在电脑上设定不同气体报警限值;
●登录密码设置、修改;
●其他客户定制功能。
